半导体工厂洁净行车,又称洁净室起重机、无尘室天车、洁净室行吊等,专为半导体制造等高洁净度环境设计的物料搬运设备,实现晶圆、芯片等精密部件的安全高效运输。
半导体工厂洁净行车
一、核心应用场景
1、晶圆与芯片搬运
在光刻、刻蚀、扩散等制程中,洁净行车负责搬运硅片、晶圆盒(SMIF POD),确保物料在Class 1(ISO 14644-1标准)超净环境中流转,避免微粒污染导致的产品缺陷。
2、设备间物料传输
连接光刻机、蚀刻机、CMP(化学机械抛光)等设备,通过自动化物流系统(如AMHS)实现晶圆盒的精准投送,取代传统人工操作。
3、洁净室维护作业
用于搬运维护工具、过滤器等辅助物料,减少人员频繁进出对洁净环境的干扰。
二、选型建议
承载能力:根据晶圆尺寸(如8英寸/12英寸)选择适配型号,通常负载范围0.5-5吨。
兼容性:确保与现有AMHS、MES(制造执行系统)无缝对接,支持柔性生产需求
三、与传统起重机的对比
对比项 |
洁净行车 |
传统起重机 |
材质 |
不锈钢、铝合金、工程塑料 |
普通钢材 |
防尘设计 |
全封闭结构、防尘护套、空气过滤系统 |
无特殊防尘措施 |
定位精度 |
微米级 |
厘米级 |
能耗 |
低(轻量化设计 + 变频技术) |
较高 |
适用环境 |
百级至十万级洁净室 |
普通工业环境 |
综上所述,半导体工厂洁净行车通过高度洁净、智能化和稳定性的设计,成为半导体制造的核心支撑设备。随着行业对良率与效率要求的提升,其技术迭代将进一步推动半导体生产的智能化升级。
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