半导体工厂洁净行车-昆峰非标定制洁净室起重机

半导体工厂洁净行车，又称洁净室起重机、无尘室天车、洁净室行吊等，专为半导体制造等高洁净度环境设计的物料搬运设备，实现晶圆、芯片等精密部件的安全高效运输。

半导体工厂洁净行车

半导体工厂洁净行车

一、核心应用场景

1、晶圆与芯片搬运

在光刻、刻蚀、扩散等制程中，洁净行车负责搬运硅片、晶圆盒（SMIF POD），确保物料在Class 1（ISO 14644-1标准）超净环境中流转，避免微粒污染导致的产品缺陷。

2、设备间物料传输

连接光刻机、蚀刻机、CMP（化学机械抛光）等设备，通过自动化物流系统（如AMHS）实现晶圆盒的精准投送，取代传统人工操作。

3、洁净室维护作业

用于搬运维护工具、过滤器等辅助物料，减少人员频繁进出对洁净环境的干扰。

二、选型建议

承载能力：根据晶圆尺寸（如8英寸/12英寸）选择适配型号，通常负载范围0.5-5吨。

兼容性：确保与现有AMHS、MES（制造执行系统）无缝对接，支持柔性生产需求

三、与传统起重机的对比