常州清洁型起重机
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半导体工厂洁净行车

半导体工厂洁净行车

半导体工厂洁净行车,又称洁净室起重机、无尘室天车、洁净室行吊等,专为半导体制造等高洁净度环境设计的物料搬运设备,实现晶圆、芯片等精密部件的安全高效运输。
  • 所属分类:常州清洁型起重机
  • 文章作者:kfcrane
  • 浏览次数:51
  • 发布日期:2025-04-14 12:19:10

产品详情

半导体工厂洁净行车,又称洁净室起重机、无尘室天车、洁净室行吊等,专为半导体制造等高洁净度环境设计的物料搬运设备,实现晶圆、芯片等精密部件的安全高效运输。

半导体工厂洁净行车

半导体工厂洁净行车

一、核心应用场景

1、晶圆与芯片搬运

在光刻、刻蚀、扩散等制程中,洁净行车负责搬运硅片、晶圆盒(SMIF POD),确保物料在Class 1(ISO 14644-1标准)超净环境中流转,避免微粒污染导致的产品缺陷。

2、设备间物料传输

连接光刻机、蚀刻机、CMP(化学机械抛光)等设备,通过自动化物流系统(如AMHS)实现晶圆盒的精准投送,取代传统人工操作。

3、洁净室维护作业

用于搬运维护工具、过滤器等辅助物料,减少人员频繁进出对洁净环境的干扰。

二、选型建议

承载能力:根据晶圆尺寸(如8英寸/12英寸)选择适配型号,通常负载范围0.5-5吨。

兼容性:确保与现有AMHS、MES(制造执行系统)无缝对接,支持柔性生产需求

三、与传统起重机的对比

对比项

洁净行车

传统起重机

材质

不锈钢、铝合金、工程塑料

普通钢材

防尘设计

全封闭结构、防尘护套、空气过滤系统

无特殊防尘措施

定位精度

微米级

厘米级

能耗

低(轻量化设计 + 变频技术)

较高

适用环境

百级至十万级洁净室

普通工业环境

综上所述,半导体工厂洁净行车通过高度洁净、智能化和稳定性的设计,成为半导体制造的核心支撑设备。随着行业对良率与效率要求的提升,其技术迭代将进一步推动半导体生产的智能化升级。

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